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單片晶圓包裝盒
上蓋標(biāo)識(shí)開關(guān)方向，便于使用者裝載或取出晶圓。
上下蓋采用扣位配合設(shè)計(jì)方案，有效避免了運(yùn)輸過程中上蓋脫出問題。
蓋內(nèi)的彈片設(shè)計(jì)能有效避免晶圓移動(dòng)，防止晶圓破損，以及減少微塵產(chǎn)生。
提供超潔凈PP和抗靜電PP兩種材料可選。
| 晶圓尺寸 | 材料 | 表面電阻 | 內(nèi)部直徑 |
| 3″（75mm） | Ultra Clean PP | N/A | 75mm |
| 3″（75mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 75mm |
| 4″（100mm） | Ultra Clean PP | N/A | 100mm |
| 4″（100mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 100mm |
| 6″（150mm） | Ultra Clean PP | N/A | 150mm |
| 6″（150mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 150mm |
| 8″ （200mm） | Ultra Clean PP | N/A | 200mm |
| 8″ （200mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 200mm |
| 12″（300mm） | Ultra Clean PP | N/A | 300mm |
| 12″（300mm） | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 300mm |