晶圓尺寸 | 材料 | 表面電阻 | 內(nèi)部直徑 |
6″(150mm) | Ultra Clean PP | N/A | 150mm |
6″(150mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 150mm |
8″(200mm) | Ultra Clean PP | N/A | 200mm |
8″(200mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 200mm |
12″(300mm) | Ultra Clean PP | N/A | 300mm |
12″(300mm) | Antistatic PP | 10E4Ω-10E11Ω | 300mm |