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立式放置晶圓盒

立式放置晶圓盒

上蓋內(nèi)的彈片設計能有效避免晶圓轉(zhuǎn)動,防止晶圓破損,以及減少微塵產(chǎn)生。
組合設計有效防止卡槽運輸中移動,給晶圓運輸過程中提供有效保護。
優(yōu)化產(chǎn)品設計的同時,又有效降低産品重量。
設計符合制程設備自動接口。
晶圓尺寸 材料 表面電阻 內(nèi)部直徑
3″ (75mm) Ultra Clean PP N/A 75mm
4″ (100mm) Ultra Clean PP N/A 100mm
6″ (150mm) Ultra Clean PP N/A 150mm
8″ (200mm) Ultra Clean PP N/A 200mm
立式放置晶圓盒
舟型晶圓盒是承載晶圓的周轉(zhuǎn)容器,使用在廠內(nèi)站點運輸或出貨用途,不同的顏色使用,方便在制程上分站管理,有效的提高生產(chǎn)質(zhì)量。
多種顏色可供選擇有利于制程區(qū)分。
多種材料可供選擇應對不同的抗化學性能要求。
晶圓尺寸 材料 表面電阻 內(nèi)部直徑
4″ (100mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 102mm
6″ (150mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 152mm
8″ (200mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 202mm
12″(300mm) Antistatic PP/PVDF 10E4Ω-10E11Ω 302mm