上蓋內(nèi)的彈片設計能有效避免晶圓轉(zhuǎn)動,防止晶圓破損,以及減少微塵產(chǎn)生。
組合設計有效防止卡槽運輸中移動,給晶圓運輸過程中提供有效保護。
優(yōu)化產(chǎn)品設計的同時,又有效降低産品重量。
設計符合制程設備自動接口。
晶圓尺寸 |
材料 |
表面電阻 |
內(nèi)部直徑 |
3″
(75mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
75mm |
4″
(100mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
100mm |
6″
(150mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
150mm |
8″
(200mm) |
Ultra Clean PP |
N/A |
200mm |
舟型晶圓盒是承載晶圓的周轉(zhuǎn)容器,使用在廠內(nèi)站點運輸或出貨用途,不同的顏色使用,方便在制程上分站管理,有效的提高生產(chǎn)質(zhì)量。
多種顏色可供選擇有利于制程區(qū)分。
多種材料可供選擇應對不同的抗化學性能要求。
晶圓尺寸 |
材料 |
表面電阻 |
內(nèi)部直徑 |
4″
(100mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
102mm |
6″
(150mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
152mm |
8″ (200mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
202mm |
12″(300mm) |
Antistatic PP/PVDF |
10E4Ω-10E11Ω |
302mm |