上下蓋內(nèi)環(huán)設(shè)計(jì)有效減少晶圓橫向移動(dòng)，同時(shí)確保不會(huì)壓到晶圓邊緣。

鎖扣安全系統(tǒng)和內(nèi)環(huán)抗沖擊空間設(shè)計(jì)，給晶圓運(yùn)輸過(guò)程中提供有效保護(hù)。

優(yōu)化產(chǎn)品設(shè)計(jì)的同時(shí)，又有效降低産品重量。

設(shè)計(jì)符合制程設(shè)備自動(dòng)接口。